エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用

論文・著書情報

タイトル

和文:	エア分離CPWによるシリコン導波路の基礎検討とKu帯RF-MEMSスイッチへの応用
英文:

著者

和文:	山根大輔, サンウィンストン, 川崎繁男, 藤田博之, 年吉洋.
英文:	Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電子情報通信学会論文誌C（エレクトロニクスソサエティ)
英文:

巻, 号, ページ

Vol. J95-C No. 10 pp. 219-227

出版年月

2012年10月

出版者

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会議名称

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開催地

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