A Ku-band Dual-SPDT RF-MEMS Switch by Double-Side SOI Bulk Micromachining

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Ku-band Dual-SPDT RF-MEMS Switch by Double-Side SOI Bulk Micromachining

著者

和文:	山根大輔, サンウィンストン, 清田春信, 川崎繁男, 藤田博之, 年吉洋.
英文:	Daisuke Yamane, Winston Sun, Harunobu Seita, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Journal of Microelectromechanical Systems

巻, 号, ページ

vol. 20 no. 5 pp. 1211-1221

出版年月

2011年10月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI