メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作 | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作
英文:

著者

和文:	山根大輔, 李宥憲, 藤田博之, 年吉洋.
英文:	Daisuke Yamane, 李宥憲, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌）
英文:

巻, 号, ページ

vol. 131 no. 3 pp. 130-131

出版年月

2011年3月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI

https://doi.org/10.1541/ieejsmas.131.130

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