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論文・著書情報


タイトル
和文:メッキ金の厚膜マスクによるRF-MEMSコプレーナ導波路の製作 
英文: 
著者
和文: 山根 大輔, 李 宥憲, 藤田 博之, 年吉 洋.  
英文: Daisuke Yamane, 李 宥憲, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:電気学会論文誌E（センサ・マイクロマシン部門誌） 
英文: 
巻, 号, ページ vol. 131    no. 3    pp. 130-131
出版年月 2011年3月 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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英文: 
DOI https://doi.org/10.1541/ieejsmas.131.130

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