Deposition of a-BCN film by reactive magnetron sputtering

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Deposition of a-BCN film by reactive magnetron sputtering

著者

和文:	藤井瞭, 齋藤啓, Kamis Shahira Liza, 赤坂大樹, 大竹尚登.
英文:	Ryo Fujii, Kei Saito, SHAHIRA LIZA KAMIS, Hiroki Akasaka, Naoto Ohtake.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	ISPlasma2015/IC-PLANT2015

巻, 号, ページ

CD-ROM D1-P-10

出版年月

2015年3月26日

出版者

和文:
英文:	ISPlasma2015/IC-PLANT2015

会議名称

和文:
英文:	ISPlasma2015/IC-PLANT2015

開催地

和文:
英文:	Nagoya