Highly Textured (111) Pt Substrates for Preferred Orientation Controlled AlN Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Highly Textured (111) Pt Substrates for Preferred Orientation Controlled AlN Films

著者

和文:	春本高志, 村石信二, 史蹟, 中村吉男.
英文:	Takashi Harumoto, Shinji Muraishi, Ji Shi, Yoshio Nakamura.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Materials Science Forum
英文:	Materials Science Forum

巻, 号, ページ

Vol. 675-677 pp. 1259-1262

出版年月

2011年2月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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