A CYLINDRICAL MICRO ULTRASONIC MOTOR USING MICRO-MACHINED PIEZOELECTRIC VIBRATOR

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A CYLINDRICAL MICRO ULTRASONIC MOTOR USING MICRO-MACHINED PIEZOELECTRIC VIBRATOR

著者

和文:	神田岳文, Akira Makino, Yoshitaka Oomori, 鈴森康一.
英文:	Takefumi Kanda, Akira Makino, Yoshitaka Oomori, Koichi Suzumori.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

Vol. 1 pp. 721-724

出版年月

2005年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 13th International Conference on Solid-state Sensors， Actuators， and Microsystems (Transducers 2005)

開催地

和文:
英文: