A Cylindrical Micro-Ultrasonic Motor Using Micromachined Bulk Piezoelectric Vibrator with Glass Case

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Cylindrical Micro-Ultrasonic Motor Using Micromachined Bulk Piezoelectric Vibrator with Glass Case

著者

和文:	神田岳文, Akira Makino, Yoshitaka Oomori, 鈴森康一.
英文:	Takefumi Kanda, Akira Makino, Yoshitaka Oomori, Koichi Suzumori.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 45 No. 5B pp. 4764-4769

出版年月

2006年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文: