High-Q Inductors on Locally Semi-Insulated Si Substrate by Helium-3 Bombardment for RF CMOS Integrated Circuits

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	High-Q Inductors on Locally Semi-Insulated Si Substrate by Helium-3 Bombardment for RF CMOS Integrated Circuits

著者

和文:	李寧, 岡田健一, Takeshi Inoue, 平野拓一, 卜慶紅, THARAYILNAARAVIND, SIRIBURANON T, Hitoshi Sakane, 松澤昭.
英文:	Ning Li, Kenichi Okada, Takeshi Inoue, Takuichi Hirano, Qinghong Bu, Tn Aravind, Teerachot Siriburanon, Hitoshi Sakane, Akira Matsuzawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	IEEE Transactions on Electron Devices

巻, 号, ページ

Vol. 62 No. 4 pp. 1269-1275

出版年月

2015年4月1日

出版者

和文:
英文:	IEEE

会議名称

和文:
英文:

開催地

和文:
英文:

DOI