A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Study on Mechanical Structure of a MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layer Metal Technology

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 寺西美波, TSO-FU MARK CHANG, 陳君怡, 益一哉, 曽根正人, 町田克之, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Minami Teranishi, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Masato Sone, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	AMC2015

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	AMC2015, Advanced Metallization Conference

開催地

和文:
英文:	Austin, TX