Heteroepitaxial Growth of Diamond Films on 3C-SiC / Si Substrates with Utilization of Antenna-Edge Microwave Plasma CVD for Nucleation

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Heteroepitaxial Growth of Diamond Films on 3C-SiC / Si Substrates with Utilization of Antenna-Edge Microwave Plasma CVD for Nucleation

著者

和文:	矢板潤也, 岩崎孝之, M. Natal, S. E. Saddow, 波多野睦子.
英文:	J. Yaita, T. Iwasaki, M. Natal, S. E. Saddow, M. Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	2015 Jananese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 54 pp. 04DH13-1〜4

出版年月

2015年3月

出版者

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会議名称

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開催地

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DOI