Mechanical Properties of Cu-Ni-Si alloy Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Properties of Cu-Ni-Si alloy Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS

著者

和文:	柳田佐理, 荒木章好, TSO-FU MARK CHANG, 陳君怡, 名越貴志, 小林郁夫, 細田秀樹, 里達雄, 曽根正人.
英文:	Sari Yanagida, Akiyoshi Araki, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Nagoshi Takashi, Equo Kobayashi, Hideki Hosoda, Tatsuo Sato, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	SSDM2015, 2015 International Conference on Solid State Devises and Materials

開催地

和文:
英文:	Sapporo