酸素ラジカル支援パルスレーザ堆積法による酸化ガリウム系混晶薄膜の成長

論文・著書情報

タイトル

和文:	酸素ラジカル支援パルスレーザ堆積法による酸化ガリウム系混晶薄膜の成長
英文:	Oxygen-radical-assisted pulsed-laser deposition of β-Ga₂O₃-based films

著者

和文:	若林諒, 大島孝仁, 服部真依, 佐々木公平, 増井建和, 倉又朗人, 山腰茂伸, 吉松公平, 大友明.
英文:	R. Wakabayashi, T. Oshima, M. Hattori, K. Sasaki, T. Masui, A. Kuramata, S. Yamakoshi, K. Yoshimatsu, A. Ohtomo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年7月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第34回電子材料シンポジウム
英文:	34th Electronic Materials Symposium

開催地

和文:	滋賀県
英文:	Shiga

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