MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価
英文:

著者

和文:	佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之.
英文:	Teruaki Safu, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 29pm3-PM-5

出版年月

2015年10月28日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第7回集積化MEMSシンポジウム
英文:

開催地

和文:	新潟県
英文: