MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS加速度センサのための金属構造体の密着力評価
英文:

著者

和文:	佐布晃昭, 小西敏文, 松島隆明, 山根大輔, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之.
英文:	Teruaki Safu, Toshifumi Konishi, Takaaki Matsushima, Daisuke Yamane, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 15a-PB4-3

出版年月

2015年9月13日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	愛知県名古屋市
英文: