A Ku-Band RF-MEMS Phase Shifter with SOI Double-Side Bulk-Micromachining Design

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Ku-Band RF-MEMS Phase Shifter with SOI Double-Side Bulk-Micromachining Design

著者

和文:	山根大輔, サンウィンストン, 川崎繁男, 藤田博之, 年吉洋.
英文:	Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 68

出版年月

2010年7月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	5th Asia-Pacific Conference on Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT)

開催地

和文:
英文:	Perth