Development of Multi-user Multi-chip SOI CMOS-MEMS Process

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Development of Multi-user Multi-chip SOI CMOS-MEMS Process

著者

和文:	高橋一浩, 三田信, Muneki Nakada, 山根大輔, Akio Higo, 藤田博之, 年吉洋.
英文:	Kazuhiro Takahashi, Makoto Mita, Muneki Nakada, Daisuke Yamane, Akio Higo, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年1月25日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE MEMS

開催地

和文:
英文:	Sorrent