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論文・著書情報


タイトル
和文:SOIレイヤ分離設計によるモノリシックRF-MEMS移相器 
英文: 
著者
和文: 山根大輔, Winston Sun, 川崎繁男, 藤田博之, 年吉 洋.  
英文: Daisuke Yamane, Winston Sun, Shigeo Kawasaki, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2011年9月26日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文: 
英文:第28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 
開催地
和文:東京都 
英文: 

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