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論文・著書情報


タイトル
和文:機能レイヤ分離設計によるSOI RF-MEMS受動素子に関する研究 
英文: 
著者
和文: 山根大輔, 藤田博之, 年吉洋.  
英文: Daisuke Yamane, Hiroyuki Fujita, Hiroshi Toshiyoshi.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2011年3月2日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:固体エレクトロニクス・光エレクトロニクス研究会 
英文: 
開催地
和文:東京 
英文: 

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