Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Robustness of Integrated Stoppers for MEMS Accelerometer Fabricated by Multi-layered Metal Technology

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 高安基大, 佐布晃昭, 年吉洋, 曽根正人, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Motohiro Takayasu, Teruaki Safu, Hiroshi Toshiyoshi, Masato Sone, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	SSDM2015, 2015 International Conference on Solod State Devices and Materials

巻, 号, ページ

pp. 786-787

出版年月

2015年9月27日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	SSDM2015, 2015 International Conference on Solod State Devices and Materials

開催地

和文:
英文:	Hokkaido