β-Ga2O3上γ-Al2O3膜のエピタキシャル構造と容量電圧特性評価

論文・著書情報

タイトル

和文:	β-Ga₂O₃上γ-Al₂O₃膜のエピタキシャル構造と容量電圧特性評価
英文:	Epitaxial structure and capacitance-voltage characteristics of γ-Al₂O₃ films grown on β-Ga₂O₃ (010) substrate

著者

和文:	服部真依, 大島孝仁, 若林諒, 佐々木公平, 増井建和, 倉又朗人, 山腰茂伸, 吉松公平, 大友明.
英文:	M. Hattori, T. Oshima, R. Wakabayashi, K. Sasaki, T. Masui, A. Kuramata, S. Yamakoshi, K. Yoshimatsu, A. Ohtomo.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年9月15日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第76回応用物理学会秋季学術講演会
英文:

開催地

和文:	名古屋
英文:	Nagoya

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