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論文・著書情報


タイトル
和文:異種材料界面におけるマイクロ波吸収を用いた酸化物薄膜形成プロセス 
英文: 
著者
和文: 佐藤 友香, 米谷 真人, 筑紫 洋平, 椿 俊太郎, 鈴木 榮一, 和田 雄二.  
英文: yuuka satou, Masato Maitani, Yohei Tsukushi, Shuntaro Tsubaki, EIICHI SUZUKI, Yuji Wada.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2015年9月13日 
出版者
和文: 
英文: 
会議名称
和文:第76回応用物理学会秋季学術講演会 
英文: 
開催地
和文:名古屋 
英文: 

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