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論文・著書情報


タイトル
和文:超臨界二酸化炭素を用いた次世代MEMS電鋳技術と微小材料試験 
英文: 
著者
和文: 曽根正人, ツォ-フ マーク チャン, 名越貴志, 陳君怡.  
英文: Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Chun-Yi Chen.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文:化学工業 
英文: 
巻, 号, ページ Vol. 67    No. 1    pp. 6-14
出版年月 2016年1月15日 
出版者
和文: 
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会議名称
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開催地
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