DRIEを用いた三角柱ｰスリット型電極対の製作によるECF効果に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	DRIEを用いた三角柱ｰスリット型電極対の製作によるECF効果に関する研究
英文:	A Study on DRIE-Fabricated Silicon Electrode Pairs for ECF Micropump

著者

和文:	清水美咲, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Misaki SHMIZU, Joon-wan KIM, Shinichi YOKOTA, Kazuya EDAMURA.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	日本設計工学会 2015年度春季大会研究発表講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 81-82

出版年月

2015年5月30日

出版者

和文:	公益社団法人日本設計工学会
英文:	Japan Society for Design Engineering

会議名称

和文:	日本設計工学会 2015年度春季大会研究発表講演会
英文:

開催地

和文:	千葉県
英文:

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