Metallization of Polyimide Films with Enlarged Area by Conducting the Catalyzation in Supercritical Carbon Dioxide

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Metallization of Polyimide Films with Enlarged Area by Conducting the Catalyzation in Supercritical Carbon Dioxide

著者

和文:	TSO-FU MARK CHANG, Cheng-Chuan Wang, Chia-Ying Yen, Shin-Hwa Chen, 陳君怡, 曽根正人.
英文:	Tso-Fu Mark Chang, Cheng-Chuan Wang, Chia-Ying Yen, Shin-Hwa Chen, Chun-Yi Chen, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Microelectronics Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 153 pp. 1-4

出版年月

2016年2月8日

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

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DOI