Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Application of Supercritical Carbon Dioxide in Electroplating of Gold Materials Used in MEMS Devices

著者

和文:	Tang Hao-Chun, 陳君怡, TSO-FU MARK CHANG, 町田克之, 山根大輔, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Hao-Chun Tang, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Katsuyuki Machida, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	第63回応用物理学会春季学術講演会
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年3月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第63回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京
英文: