A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A MEMS Inertia Sensor with Brownian Noise of Below 50 nG/Hz^1/2 by Multi-Layer Metal Technology

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 148-149

出版年月

2016年2月23日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	IEEE Inertial Sensors 2016

開催地

和文:
英文:	Laguna Beach, California

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