Effect of Incubation Time on Preparation of Continuous and Flat Ru Films

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of Incubation Time on Preparation of Continuous and Flat Ru Films

著者

和文:	舟窪浩, 白石貴久, 及川貴弘, 平野雅輝, Hirokazu Chiba and, 河野和久.
英文:	Hiroshi Funakubo, Takahisa Shiraishi, Takahiro Oikawa, Masaki Hirano, Hirokazu Chiba and, Kazuhisa Kawano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. A.

巻, 号, ページ

Vol. 33 No. 1 pp. 01A149-1-6

出版年月

2015年1月

出版者

和文:
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会議名称

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開催地

和文:
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DOI