Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討 | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	Sub-1G 検出へ向けた CMOS-MEMS 加速度センサの検討
英文:

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 伊藤浩之, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 21p-P17-18

出版年月

2016年3月19日

出版者

和文:
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会議名称

和文:	第63回応用物理学会春季学術講演会
英文:

開催地

和文:	東京都
英文:

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