Crystal Growth on Nanoscale Wiring by Cu Electrodeposition in Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Electrolyte toward 3D Integrated Circuits (Invited Lecture)

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Crystal Growth on Nanoscale Wiring by Cu Electrodeposition in Supercritical Carbon Dioxide Emulsified Electrolyte toward 3D Integrated Circuits (Invited Lecture)

著者

和文:	曽根正人.
英文:	Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	EMN2016, Collaborative Conference on Crystal Growth (3CG 2016)

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月4日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	EMN2016, Collaborative Conference on Crystal Growth (3CG 2016)

開催地

和文:
英文:	Donostia-San Sebastian