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論文・著書情報


タイトル
和文:微結晶シリコン製膜用高圧狭ギャップVHFプラズマ特性 
英文: 
著者
和文: 杉原拓実, 廣井誉, 田中雅慶, 河合良信.  
英文: Takumi Sugihara, Homare Hiroi, Masayoshi Tanaka, Yoshinobu Kawai.  
言語 Japanese 
掲載誌/書名
和文: 
英文: 
巻, 号, ページ        
出版年月 2010年9月14日 
出版者
和文:応用物理学会 
英文:JSAP 
会議名称
和文:第71回応用物理学会学術講演会 
英文:The 71st JSAP Meeting 
開催地
和文:長崎 
英文:Nagasaki 
公式リンク https://www.jsap.or.jp/activities/annualmeetings/2010autumn/html/field/08/8_1.html
 

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