MEMS応用を目指したPLD磁石膜の微細形状加工および微細着磁

論文・著書情報

タイトル

和文:	MEMS応用を目指したPLD磁石膜の微細形状加工および微細着磁
英文:

著者

和文:	田中駿也, 藤原良元, 土方亘, 進士忠彦, 廣瀧敬士, 山下昂洋, 柳井武志, 中野正基, 福永博俊, 鈴木健一, 門田祥悟.
英文:	Shunya Tanaka, Ryogen Fujiwara, Wataru Hijikata, TADAHIKO SHINSHI, 廣瀧敬士, 山下昂洋, 柳井武志, 中野正基, 福永博俊, 鈴木健一, 門田祥悟.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第28回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

No. 16-13 pp. 56-57

出版年月

2016年5月18日

出版者

和文:	日本機械学会
英文:

会議名称

和文:	第28回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム
英文:

開催地

和文:	横浜市
英文: