Formation of 0.3-nm-High Stepped Polymer Surface by Thermal Nanoimprinting

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Formation of 0.3-nm-High Stepped Polymer Surface by Thermal Nanoimprinting

著者

和文:	Geng Tan, Naoya Inoue, Tomoyuki Funabasama, Masahiro Mita, Norimichi Okuda, Junichi Mori, Koji Koyama, 金子智, Masaru Nakagawa, 松田晃史, 吉本護.
英文:	Geng Tan, Naoya Inoue, Tomoyuki Funabasama, Masahiro Mita, Norimichi Okuda, Junichi Mori, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Masaru Nakagawa, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Appl. Phys. Exp. (APEX)

巻, 号, ページ

Vol. 7 No. 5 pp. 055202(1)–(3)

出版年月

2014年4月17日

出版者

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会議名称

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開催地

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