Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Expansion of lattice constants of aluminum nitride thin film prepared on sapphire substrate by ECR plasma sputtering method

著者

和文:	金子智, Hironori Torii, Takao Amazawa, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Akinori Fukushima, Takashi Tokumasu, Lee Seughwan, Sungkyun Park, Hirofumi Takikawa, 吉本護.
英文:	Satoru Kaneko, Hironori Torii, Takao Amazawa, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Masahito Kurouchi, Akinori Fukushima, Takashi Tokumasu, Lee Seughwan, Sungkyun Park, Hirofumi Takikawa, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys. Vol.53 (2014) 11RA11(1)–(4).

巻, 号, ページ

Vol. 53 pp. 11RA11(1)–(4)

出版年月

2014年10月24日

出版者

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会議名称

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開催地

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