Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Periodic nano trench structure fabricated by high speed scanning CW laser

著者

和文:	金子智, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Takeshi Ozawa, Yasuo Hirabayashi, Akira Matsuno, Takashi Nire, 吉本護.
英文:	Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Takeshi Ozawa, Yasuo Hirabayashi, Akira Matsuno, Takashi Nire, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Proc. SPIE 8243, Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM)

巻, 号, ページ

Vol. 8243 pp. 82430U-1–6

出版年月

2012年2月9日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	SPIE symp. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XVII

開催地

和文:
英文:	San Francisco, California

公式リンク

DOI