A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	A Novel MEMS Inertial Sensor With Out-of-plane Differential Sensing Structure By Multi-layer Metal Technology

著者

和文:	山根大輔, 小西敏文, 佐布晃昭, 伊藤浩之, 年吉洋, 益一哉, 町田克之.
英文:	Daisuke Yamane, Toshifumi Konishi, Teruaki Safu, Hiroyuki Ito, Hiroshi Toshiyoshi, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 299-300

出版年月

2016年6月26日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology (APCOT 2016)

開催地

和文:
英文:	Kanazawa

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