Controllable Mechanical Properties of Au Films by Pulse Electroplating for MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Controllable Mechanical Properties of Au Films by Pulse Electroplating for MEMS Accelerometer

著者

和文:	葭葉将治, 陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 名越貴志, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Masaharu Yoshiba, Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering

開催地

和文:
英文:	Vienna