Mechanical Behaviour of Electroplated Gold Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS Accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Mechanical Behaviour of Electroplated Gold Evaluated by Micro-Tensile Test for Application in MEMS Accelerometer

著者

和文:	柳田佐理, Chang Tso-Fu Mark, 陳君怡, 名越貴志, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Sari Yanagida, Tso-Fu Mark Chang, Chun-Yi Chen, Takashi Nagoshi, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月19日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	MNE2016, 42nd Micro& Nano Engineering

開催地

和文:
英文:	Vienna