ECFジェット駆動水溶液ポンピングシステムにおける流路への水の残留に関する研究

論文・著書情報

タイトル

和文:	ECFジェット駆動水溶液ポンピングシステムにおける流路への水の残留に関する研究
英文:	Study on the leftover of water to fluidic channels in the aqueous solution pumping by ECF jetting

著者

和文:	松原竜也, 金俊完, 横田眞一, 枝村一弥.
英文:	Tatsuya Matsubara, Joon-wan KIM, SHINICHI YOKOTA, Kazuya Edamura.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第16回機素潤滑設計部門講演会講演論文集
英文:

巻, 号, ページ

pp. 65-66

出版年月

2016年4月17日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第16回機素潤滑設計部門講演会
英文:	The 16th. Machine Design and Tribology Division Meeting in JSME

開催地

和文:	福井県
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