微小電気機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術（招待講演） | T2R2 東京工業大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	微小電気機械システムのための超臨界流体を用いた金属皮膜形成技術（招待講演）
英文:

著者

和文:	曽根正人, Tso-Fu Mark Chang, Chun-yi Chen, 山根大輔, 益一哉, 町田克之.
英文:	Masato Sone, Mark Chang, Chun-Yi Chen, Daisuke Yamane, Kazuya Masu, Katsuyuki Machida.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:	第6回CSJ化学フェスタ
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年11月15日

出版者

和文:	日本化学会
英文:

会議名称

和文:	第6回CSJ化学フェスタ
英文:

開催地

和文:
英文:

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