Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of CW Laser Annealing on Silicon Surface for Application of Power Device

著者

和文:	金子智, Takeshi Ito, Kensuke Akiyama, Manabu Yasui, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Yasuo Hirabayashi, Takeshi Ozawa, Akira Matsuno, Takashi Nire, Hiroshi Funakubo, 吉本護.
英文:	Satoru Kaneko, Takeshi Ito, Kensuke Akiyama, Manabu Yasui, Chihiro Kato, Satomi Tanaka, Yasuo Hirabayashi, Takeshi Ozawa, Akira Matsuno, Takashi Nire, Hiroshi Funakubo, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Engineering and Technology

巻, 号, ページ

Vol. 74 pp. 1150–1152

出版年月

2011年2月1日

出版者

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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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