Nanoimprint Fabrication and Thermal Behavior of Atomically Ultrasmooth Glass Substrate with 0.2nm-Height Steps

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Nanoimprint Fabrication and Thermal Behavior of Atomically Ultrasmooth Glass Substrate with 0.2nm-Height Steps

著者

和文:	Yumiko Miyake, Yasuyuki Akita, Hideo Oi, Masahiro Mita, 金子智, Kohji Koyama, Kazuhiro Sunagawa, Kazuhiro Tada, Yoshihiko Hirai, 吉本護.
英文:	Yumiko Miyake, Yasuyuki Akita, Hideo Oi, Masahiro Mita, Satoru Kaneko, Kohji Koyama, Kazuhiro Sunagawa, Kazuhiro Tada, Yoshihiko Hirai, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Jpn. J. Appl. Phys.

巻, 号, ページ

Vol. 50 No. 7 pp. 078002-1 — 078002-2

出版年月

2011年7月20日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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DOI