Effect of post annealing on MgO thin film prepared on silicon(001) substrate in high oxygen pressure and high substrate temperature by pulsed laser deposition

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Effect of post annealing on MgO thin film prepared on silicon(001) substrate in high oxygen pressure and high substrate temperature by pulsed laser deposition

著者

和文:	金子智, Kensuke Akiyama, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Takeshi Ozawa, Masayasu Soga, Yu Motoizumi, 吉本護.
英文:	Satoru Kaneko, Kensuke Akiyama, Takeshi Ito, Manabu Yasui, Takeshi Ozawa, Masayasu Soga, Yu Motoizumi, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	Materials Science and Engineering

巻, 号, ページ

Vol. 18 pp. 022018-1 — 022018-4

出版年月

2011年1月1日

出版者

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会議名称

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開催地

和文:
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