Heteroepitaxial nucleation of diamond on 3C-SiC(001) thin films by antenna-edge microwave plasma CVD

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Heteroepitaxial nucleation of diamond on 3C-SiC(001) thin films by antenna-edge microwave plasma CVD

著者

和文:	岩崎孝之, 矢板潤也, M. Natal, S. E. Saddow, 波多野睦子.
英文:	T. Iwasaki, J. Yaita, M. Natal, S. E. Saddow, M. Hatano.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2014年2月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	Hasselt Diamond Workshop 2014

開催地

和文:
英文:	Hasselt