Design of an effective vibration isolation system for measurements sensitive to low-frequency vibrations

論文・著書情報

タイトル

和文:	Design of an effective vibration isolation system for measurements sensitive to low-frequency vibrations
英文:	Design of an effective vibration isolation system for measurements sensitive to low-frequency vibrations

著者

和文:	K. Iwaya, R. Shimizu, A. Teramura, S. Sasaki, T. Itagaki, T. Hitosugi.
英文:	K. Iwaya, R. Shimizu, A. Teramura, S. Sasaki, T. Itagaki, T. Hitosugi.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Journal of Vacuum Science & Technology A
英文:	Journal of Vacuum Science & Technology A

巻, 号, ページ

Vol. 30 No. 6

出版年月

2012年

出版者

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会議名称

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開催地

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