Wet Etching of Amorphous TiO2 Thin Films Using H3PO4-H2O2 Aqueous Solution

論文・著書情報

タイトル

和文:	Wet Etching of Amorphous TiO2 Thin Films Using H3PO4-H2O2 Aqueous Solution
英文:	Wet Etching of Amorphous TiO2 Thin Films Using H3PO4-H2O2 Aqueous Solution

著者

和文:	Sohei Okazaki, Takuya Ohhashi, Shoichiro Nakao, Yasushi Hirose, Taro Hitosugi, Tetsuya Hasegawa.
英文:	Sohei Okazaki, Takuya Ohhashi, Shoichiro Nakao, Yasushi Hirose, Taro Hitosugi, Tetsuya Hasegawa.

言語

English

掲載誌/書名

和文:	Japanese Journal of Applied Physics
英文:	Japanese Journal of Applied Physics

巻, 号, ページ

Vol. 52 No. 9

出版年月

2013年

出版者

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会議名称

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開催地

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