Atomic step pattering in nanoimprint lithography : Molecular dynamics study

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Atomic step pattering in nanoimprint lithography : Molecular dynamics study

著者

和文:	K. Tada, M. Yasuda, G. Tan, Y. Miyake, H. Kawata, 吉本護, Y. Hirai.
英文:	K. Tada, M. Yasuda, G. Tan, Y. Miyake, H. Kawata, M. Yoshimoto, Y. Hirai.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:	J. Vac. Sci. Technol. B

巻, 号, ページ

Vol. 29 No. 6 pp. 06FC11-1 — 06FC11-6

出版年月

2011年11月8日

出版者

和文:
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会議名称

和文:
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開催地

和文:
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