微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	微細加工による円筒型バルク圧電体を用いたマイクロ超音波モータ
英文:

著者

和文:	神田岳文, 小野智久, 鈴森康一, 森田剛, 黒澤実.
英文:	Takefumi Kanda, 小野智久, Koichi Suzumori, 森田剛, 黒澤実.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 1A1-1F-F6，pp. 1A1-1F-F6(1)～(2)

出版年月

2003年5月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	ロボティクス・メカトロニクス講演会2003講演論文集
英文:

開催地

和文:
英文:

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