バルク圧電体の微細加工による振動子を用いたマイクロアクチュエータ・デバイス | T2R2 東京科学大学リサーチリポジトリ

論文・著書情報

タイトル

和文:	バルク圧電体の微細加工による振動子を用いたマイクロアクチュエータ・デバイス
英文:

著者

和文:	神田岳文, 牧野明, 三谷修一, 鈴森康一, 森田剛.
英文:	Takefumi Kanda, 牧野明, 三谷修一, Koichi Suzumori, 森田剛.

言語

Japanese

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

pp. 23-24

出版年月

2004年6月

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:	第16回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集
英文:

開催地

和文:
英文:

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