Solid-phase Epitaxial Crystallization of Ga<sub>2</sub>O<sub>3</sub> Thin Films by Pulsed KrF Excimer Laser Annealing towards Low-Temperature Device Fabrication

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Solid-phase Epitaxial Crystallization of Ga₂O₃ Thin Films by Pulsed KrF Excimer Laser Annealing towards Low-Temperature Device Fabrication

著者

和文:	塩尻大士, 福田大二, 土嶺信男, 小山浩司, 金子智, 松田晃史, 吉本護.
英文:	daishi shiojiri, Daiji Fukuda, Nobuo Tsuchimine, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2015年11月29日

出版者

和文:
英文:	Materials Research Society

会議名称

和文:
英文:	2015 MRS Fall Meeting & Exhibits RR: Wide-Bandgap Materials for Energy Efficiency—Power Electronics and Solid-State Lighting

開催地

和文:	ボストン
英文:	Boston