Enhanced mechanical property of metallic films with supercritical carbon dioxide for micro-electrical-mechanical system accelerometer

論文・著書情報

タイトル

和文:
英文:	Enhanced mechanical property of metallic films with supercritical carbon dioxide for micro-electrical-mechanical system accelerometer

著者

和文:	陳君怡, Chang Tso-Fu Mark, 山根大輔, 町田克之, 益一哉, 曽根正人.
英文:	Chun-Yi Chen, Tso-Fu Mark Chang, Daisuke Yamane, Katsuyuki Machida, Kazuya Masu, Masato Sone.

言語

English

掲載誌/書名

和文:
英文:

巻, 号, ページ

出版年月

2016年9月8日

出版者

和文:
英文:

会議名称

和文:
英文:	The 15th Symposium on Development of Supercritical Fluid Technology and Application and The 2nd International Workshop on Supercritical Fluid Dyeing Technology

開催地

和文:
英文:	Kaohsiung